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          真空泵單位的換算與常用公式

          時(shí)間:2012/2/12 來源:浙江揚(yáng)子江泵業(yè)有限公司

          真空單位換算:

           


          Pa


          Torr

          微米汞柱
          μmHg

          毫巴
          mbar

          大氣壓
          atm

          工程大氣壓
          am

          1 Pa

          1

          7.5
          ×10-3

          7.5

          10-2

          9.86923
          ×10-6

          1.0197
          ×105

          1 Torr

          133.32

          1

          103

          1.3332

          1.31579
          ×10-3

          1.3595
          ×10-3

          1 μmHg

          0.13332

          10-3

          1

          1.3332
          ×10-3

          1.31579
          ×10-6

          1.3595
          ×10-6

          1 mbar

          102

          7.5
          ×10-1

          7.5
          ×102

          1

          9.86923
          ×10-4

          1.0197
          ×10-3

          飽和水蒸汽的壓力與溫度的關(guān)系:

          溫度℃
          水蒸氣壓力 MPa
          相應(yīng)真空度 MPa

          22
          0.00264
          0.09869

          24
          0.00298
          0.09835

          26
          0.00336
          0.09797

          28
          0.00378
          0.09755

          30
          0.00424
          0.09709

          32
          0.00475
          0.09658

          34
          0.00532
          0.09601

          36
          0.00594
          0.09539

          38
          0.00662
          0.09471

          40
          0.00738
          0.09395

          溫度℃
          水蒸氣壓力 MPa
          相應(yīng)真空度 MPa

          42
          0.00820
          0.09313

          44
          0.00910
          0.09223

          46
          0.01009
          0.09124

          48
          0.01116
          0.09017

          50
          0.01234
          0.08899

          52
          0.01361
          0.08772

          54
          0.01500
          0.08633

          56
          0.01651
          0.08482

          58
          0.01815
          0.08318

          60
          0.01992
          0.08141

          溫度℃
          水蒸氣壓力 MPa
          相應(yīng)真空度 MPa

          62
          0.02184
          0.07949

          64
          0.02391
          0.07742

          66
          0.02615
          0.07518

          68
          0.02856
          0.07277

          70
          0.03116
          0.07017

          72
          0.03396
          0.06737

          74
          0.03696
          0.06437

          76
          0.04019
          0.06114

          78
          0.04365
          0.05768

          80
          0.04736
          0.05397

          溫度℃
          水蒸氣壓力 MPa
          相應(yīng)真空度 MPa

          82
          0.05133
          0.05000

          84
          0.05557
          0.04576

          86
          0.06011
          0.04122

          88
          0.06495
          0.03638

          90
          0.07011
          0.03122

          92
          0.07561
          0.02572

          94
          0.08146
          0.01987

          96
          0.08769
          0.01364

          98
          0.09430
          0.00703

          100
          0.10133
          0

          溫度℃
          水蒸氣壓力 MPa

          102
          0.10878

          104
          0.11668

          106
          0.12504

          108
          0.13390

          110
          0.14327

          112
          0.15316

          114
          0.16362

          116
          0.17465

          118
          0.18628

          120
          0.19854

          溫度℃
          水蒸氣壓力 MPa

          122
          0.21145

          124
          0.22504

          126
          0.23933

          128
          0.25435

          130
          0.27013

          132
          0.27831

          134
          0.30407

          136
          0.32229

          138
          0.34138

          140
          0.36138


          真空計(jì)算常用的公式:

          1、玻義爾定律:
          體積V,壓強(qiáng)P,P·V=常數(shù)(一定質(zhì)量的氣體,當(dāng)溫度不變時(shí),氣體的壓強(qiáng)與氣體的體積成反比。
          即P1/P2=V2/V1)

          2、蓋·呂薩克定律:
          當(dāng)壓強(qiáng)P不變時(shí),一定質(zhì)量的氣體,其體積V與絕對溫度T成正比:(V1/V2=T1/T2=常數(shù))
          當(dāng)壓強(qiáng)不變時(shí),一定質(zhì)量的氣體,溫度每升高(或P降低)1℃,則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。

          3、查理定律:
          當(dāng)氣體的體積V保持不變,一定質(zhì)量的氣體,壓強(qiáng)P與其他絕對溫度T成正比,即:P1/P2=T1/T2
          在一定的體積下,一定質(zhì)量的氣體,溫度每升高(或降低)1℃,它的壓強(qiáng)比原來增加(或減少)1/273。

          4、平均自由程:
          λ=(5×10-3)/P (cm)

          5、抽速:
          S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/P
          Q=流量(托·升/秒) P=壓強(qiáng)(托) V=體積(升) t=時(shí)間(秒)

          6、通導(dǎo): C=Q/(P2-P1) (升/秒)

          7、真空抽氣時(shí)間:
          對于從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式: t=8V/S (經(jīng)驗(yàn)公式)
          (V為體積,S為抽氣速率,通常t在5~10分鐘內(nèi)選擇。)

          8、維持泵選擇:
          S維=S前/10

          9、擴(kuò)散泵抽速估算:
          S=3D2 (D=直徑cm)

          10、羅茨泵的前級抽速:
          S=(0.1~0.2)S羅 (l/s)

          11、漏率:
          Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)
          Q漏-系統(tǒng)漏率(mmHg·l/s) V-系統(tǒng)容積(l)
          P1-真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg)
          P2-真空室經(jīng)過時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg)
          t-壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過的時(shí)間(s)

          12、粗抽泵的抽速選擇:
          S=Q1/P預(yù) (l/s)
          S=2.3V·lg(Pa/P預(yù))/t
          S-機(jī)械泵有效抽速Q(mào)1-真空系統(tǒng)漏氣率(托·升/秒)
          P預(yù)-需要達(dá)到的預(yù)真空度(托)V-真空系統(tǒng)容積(升)
          t-達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間 Pa-大氣壓值(托)

          13、前級泵抽速選擇:
          排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時(shí)需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值,選用的前級泵必須能將主泵的大氣體量排走,根據(jù)管路中,各截面流量恒等的原則有:
          PnSg≥PgS 或 Sg≥Pgs/Pn
          Sg-前級泵的有效抽速(l/s)Pn-主泵臨界前級壓強(qiáng)(大排氣壓強(qiáng))(l/s)
          Pg-真空室高工作壓強(qiáng)(托)S-主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。(l/s)

          14、擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式:
          S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒)
          式中:S-被試泵的抽氣速率(l/s) n-滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)
          t-油柱上升n格所需要的時(shí)間(秒) P-在泵口附近測得的壓強(qiáng)(托)
          K-滴管系數(shù)(托·升/秒) K=V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt
          其中V0-滴管和真空膠管的原始容積(升) L-滴管刻度部分的長度(mm)
          n-滴管刻度部分的格數(shù)(格) Υ0-油的比重(克/厘米3)
          Υm-汞的比重(克/厘米3) Pa-當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)(托)
          △Vt-滴管的刻度上的一格的對應(yīng)的容積(升/格)

          15、旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式:
          S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)
          式中:Z為旋片數(shù),n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分),L為泵腔長度,D為泵腔直徑,d為轉(zhuǎn)子直徑(cm),Kv為容積利用系數(shù)(一般取95%)。

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